一、产品型号 晶片搬送机 NWL200 系列

产品描述

通过与ECLIPSE L200N组合使用，NWL200可满足检查*新晶片的要求。

尼康尖端的专利技术可搬送100 um超薄晶片。

性能特点

支持100 um超薄晶片

尼康*新的卡盘系统可稳定搬送100um超薄晶片。

通过与ECLIPSEL20ON组合使用，NWL200系列可达到检查*新晶片的所有安全及可靠性标准。

经过改良的晶片感应功能

晶片感应光束的*优化排列可精确检测到晶片扭曲。

晶片槽按钮的设计提高了操作性

晶片槽按钮允许使用者只要按一个按钮即可选择槽中的任意晶片。

大型LCD面板可让使用者设定采样和检查样式等各种条件，以及方便查看工作状态和出错内容。

各画面按照分层结果排布，一个画面对应一个任务，这样按照直观的对话框即可顺利执行各步骤。

在自动检查时，用于搬送器、样本等部件的一整套文件管理功能相当有用。

高处理能力

超快的升降器、非接触式对中机构的快速正确对位、多臂系统的精确装卸晶片实现了高效晶片传送和更换。

循环时间被大大减少，因此其处理能力高于以外型号。

远程存取工具

由于搬送机配备网络服务器功能，将PC连接至LAN后可使用PC方便地创建检查处方和备份数据。

处方准备支持功能

在检查晶片状态的同时，网络浏览器向导可指导使用者根据NWML200中指示的各步骤安全便捷地准备*佳处方。

设备维护

可方便地备份和恢复检查处方。

产品规格参数